残余气体

作品数:91被引量:156H指数:8
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电真空器件残气质谱分析和贮存寿命的快速测试研究被引量:8
《真空科学与技术学报》2007年第1期80-83,共4页崔云康 张晓兵 雷威 肖梅 狄云松 王金婵 毛福明 
国家973计划(No.2003CB314706No.2003CB314702);教育部博士点基金(No.20030286003);新世纪优秀人才支持计划(No.NCET-04-0473No.NCET-05-0466)
电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收。因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡...
关键词:电真空器件 残余气体 质谱分析 特性 
显像管残余气体分析及离子轰击研究
《真空科学与技术学报》2005年第z1期115-117,共3页张晓兵 蒋峻 毛福明 雷威 
国家973计划(No.2003CB314706和No.2003CB314702);新世纪人才计划(NCET-04-0473)
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模...
关键词:残余气体 质谱分析 离子轰击 
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