侧墙

作品数：823被引量：1113H指数：13
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相关领域：建筑科学交通运输工程机械工程更多>>
相关作者：朱慧珑殷华湘尹海洲钟汇才赵超更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司中国科学院微电子研究所上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
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面向GAA器件的自对准侧墙转移技术
《微纳电子技术》2023年第5期793-802,共10页韩燕楚 张青竹 吴次南 李俊杰 张兆浩 田佳佳 殷华湘 
中国科学院战略性先导科技专项资助(E1XDC2X002);北京市科技新星计划(Z201100006820084)。
纳米尺度的图形化以及先进刻蚀技术是先进围栅(gate-all-around, GAA)器件面临的重要挑战之一。通过自对准侧墙转移技术设计和实现了纳米尺度的鳍和栅。同时采用剪裁氮化硅硬掩膜的方案设计实现了鳍剪裁,高效率地形成均匀的鳍阵列(宽度4...
关键词：自对准侧墙转移 围栅(GAA)器件 鳍阵列 鳍剪裁 干法刻蚀 
厂房顶盖与侧墙耦合对天然气泄爆的影响被引量：1
《消防科学与技术》2020年第10期1339-1344,共6页杨凯 胡倩然 任佳奇 李思刚 庞磊 
北京市自然科学基金委员会-北京市教育委员会联合基金项目(KZ201910017020);北京市教委科技计划一般项目(KM202010017008);北京市优秀人才培养青年骨干个人项目(2018000020124G087);北京市科技新星计划项目(Z181100006218092)。
借助计算流体动力学技术,基于典型工业厂房尺寸,研究了天然气爆炸作用下厂房顶部与两侧墙体的耦合泄爆过程,重点考查了耦合泄爆产生的室内爆炸超压载荷分布特征。研究表明,顶部与两侧墙体耦合下,厂房内爆炸超压载荷普遍存在2个较显著的...
关键词：天然气 耦合泄爆 爆炸超压 工业厂房 
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