场效应器件

作品数:102被引量:62H指数:5
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4H-SiC MESFET的特性研究
《半导体技术》2002年第8期74-77,共4页徐昌发 杨银堂 朱磊 
国家自然科学基金(69976023);教育部跨世纪优秀人才基金;国防科技预研基金资助项目
对4H-SiC MESFET的特性研究发现,在室温下4H-SiC MESFET饱和漏电流的值为0.75A/mm,随着温度的上升,器件的饱和漏电流和跨导一直下降;栅长越短,沟道层掺杂浓度越高,饱和漏电流就越大。300K时器件的击穿电压为209V,计算出来的最大功率密...
关键词:MESFET 碳化硅 场效应器件 
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