超纯水

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工业超纯水处理技术能耗研究
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2021年第6期270-270,274,共2页王玉平 
半导体行业对水资源、电能等方面的消耗十分巨大,如何在纯水制造过程中降低能耗已成为该行业目前重要的研究课题。基于此,本文对降低工业超纯水处理技术能耗的先进意义进行探讨,重点研究降低能耗的有效方法,以供参考。
关键词：工业超纯水处理技术 能耗 反渗透 
超纯水制造技术及相关问题之研究
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2017年第4期00178-00178,共1页纪桂飞 
超纯水指的是电阻率为18MΩ*cm(25℃)的水,其在现代工业中有着广泛应用,其主要应用在半导体原材料以及相应器皿等各项材料的清洗中。除此之外,各种固态电子器件、印刷电路、薄膜和厚膜电路等操作中也都会对超纯水进行应用。
关键词：超纯水 生产技术 半导体 
对超纯水系统中排放水处理技术的探讨
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2017年第1期00259-00259,261,共2页雷科奇 
超纯水一般用于湿制程(Wet Process)上,利用超纯水去除杂质及防止在芯片或玻璃上形成氧化膜,故若水质不良,非但不能去除不必要杂质,且会造成产品污染而影响品质。针对超纯水产水效率低,在目前纯水制备系统基础上,为提高产水效率,采用增...
关键词：超纯水 排放水处理 应用 
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