超高纯

作品数：155被引量：199H指数：7
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超高纯CuMn合金材料微观组织和织构演变研究被引量：6
《稀有金属》2017年第2期120-125,共6页关冲 何金江 曾浩 万小勇 李勇军 
北京市科技新星项目(Z1511000003150102)资助
当前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸已经步入纳米范围,随着特征尺寸的减小,铜互连面临着严重的可靠性问题,采用合金化手段可有效抑制晶界附近的电迁移。因而本文主要研究超高纯铜锰合金材料,通过金相(OM)、电子背散射衍射(EBSD)等分...
关键词：铜锰合金 溅射靶材 织构 微观组织 
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