超高纯

作品数：155被引量：199H指数：7
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林德启用全新制氮机,为积塔半导体供气
《上海化工》2020年第3期58-58,共1页Grace 
林德集团最近宣布,其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。该台制氮机位于...
关键词：制氮机 半导体 超高纯 启用 
国内首家超纯微电子化学品制造企业在沪投产
《上海化工》2006年第10期8-8,共1页
经过一年多的建设，上海华谊微电子公司年产1．5万吨超高纯微电子化学品项目9月8日正式投产。这标志着国内大规模集成电路制造业依赖进口微电子化学品的状况将彻底改变？
关键词：电子化学品 制造企业 投产 国内 大规模集成电路 超纯 电子公司 超高纯 
上海华谊建设国内首个超高纯微电子化学品基地
《上海化工》2005年第1期17-17,共1页
国内首个超高纯微电子化学品生产基地——上海华谊微电子材料有限公司开工建设奠基仪式于2004年12月19日在上海宝山区举行?该公司由上海华谊集团公司麾下的上海中远化工有限公司与台湾联仕电子化学材料股份有限公司联合出资组建。此次...
关键词：开工建设 化学品生产 国内 上海华谊集团公司 化学材料 基地 人民币 高纯 超高 化工 
超高纯1,1,1-三氯乙烷的制备被引量：2
《上海化工》1999年第23期23-24,共2页施沁清 
讨论了制备超高纯1,1,1-三氯乙烷的工艺路线,从市售试剂开始,采用了杂质皂化,氧化,洗涤、精镏、干燥、亚沸蒸镏等手段,提纯出超高纯的试剂,总得率为40％
关键词：超高纯 三氯乙烷 清洗剂 制备 集成电路 
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