超纯

作品数：352被引量：470H指数：10
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超纯氦中痕量氖测定方法研究
《低温与特气》2025年第1期41-45,共5页王莎 杨惠钧 熊德权 陈琳 张瑞春 
结合浓缩富集和等离子检测技术,建立超纯氦中痕量氖预浓缩等离子发射气相色谱分析方法,将超纯氦中痕量氖检出下限降至0.001×10^(-6),确定了该方法的操作条件,考查了方法性能,证明该方法准确可行。
关键词：超纯氦 痕量氖 分析方法 等离子 
集成电路用超纯球形粉体的膜法提纯工艺
《当代化工》2025年第2期364-368,共5页阮建军 韩小妮 朱刚 吕福法 徐俊杰 徐华强 
为提升集成电路用球形粉体生产提纯工艺水平,以配制的球形氧化铝洗涤水模拟溶液,研究利用过滤精度为20 nm的陶瓷膜错流过滤系统对球形氧化铝模拟溶液进行分离提纯处理。考察了球形氧化铝模拟料液提纯前后固相质量分数、浊度、电导率及p...
关键词：集成电路 超纯球形粉体 提纯 陶瓷膜 超滤 二氧化硅 氧化铝 
量子级联激光技术在零空气检测中的运用研究
《计量与测试技术》2025年第1期33-35,39,共4页史苏娟 王瑞 董亮华 
江苏省市场监督管理局科技项目(项目名称:超纯零气发生器的气体检测技术研究,项目编号:KJ2023058)。
本文基于量子级联激光光谱技术在痕量气体检测中的应用,研制了一种零空气发生器气体检测装置,并对零空气中的痕量气体(NO、NO_(2)、CO、CO_(2))进行检测验证。结果表明:该装置可对超纯零气发生器产生的痕量多组份超纯气体的PPb级(10^(-...
关键词：量子级联激光光谱技术 超纯零气发生器 装置设计与应用 
超纯水系统国产除硼树脂的筛选及应用研究
《工业水处理》2024年第11期155-160,共6页田宇鸣 熊江磊 潘婷 陈炜彧 
硼是超纯水水质的关键指标之一,可通过除硼树脂去除,但市场上除硼树脂主要被国外企业垄断,国产树脂应用少,运行参数和稳定性不明确,市场推广难度大。通过除硼树脂静态吸附试验和连续流中试,开展对典型国产除硼树脂的性能评价和项目应用...
关键词：除硼树脂 超纯水 硼吸附量 TOC溶出 
左卡尼汀联合超纯透析治疗对慢性肾功能衰竭患者氧化应激和肾功能指标的影响
《现代医学与健康研究电子杂志》2024年第19期60-62,共3页张培光 陈启斌 谭锦钰 
目的探讨左卡尼汀联合超纯透析治疗对慢性肾衰竭患者氧化应激和肾功能指标的影响,为提升该疾病的治疗效果提供临床依据。方法根据随机数字表法将江门新会陈经纶医院2023年4月至2024年4月收治的82例慢性肾衰竭患者进行分组,将其分为对照...
关键词：左卡尼汀 超纯透析 慢性肾衰竭 氧化应激 肾功能 
半导体超纯水中微粒子监测故障与对策
《洁净与空调技术》2024年第3期53-56,共4页温鑫 郑伟 顾凯凯 蔡鹏鹏 杨文杰 李霆 韩迪凯 
国家重点研发计划“政府间国际创新合作”重点专项(2023YFE0114100)。
微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预...
关键词：超纯水 超纯水制备系统 配送点 微纳气泡 微粒子 激光粒子计数器 
某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析
《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第9期0127-0131,共5页章星异 
文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产...
关键词：12寸超纯水系统 两床三塔 抛光树脂 膜脱气 终端超滤 
适用于超纯流体的风囊泵的设计研究
《中国机械》2024年第17期13-17,共5页徐力 
半导体的湿法工艺是通过化学品(酸、碱、溶剂、添加剂等)、超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,在整个制程中需要避免颗粒物、阴离子、金属离子等污染带来的工艺缺陷。因此在化学品系统、超纯水系统的制程中,所有部件都...
关键词：半导体 湿法工艺 超纯流体 风囊泵 
国产高密度聚乙烯在电子级化学品包装桶上的应用研究被引量：1
《广东化工》2024年第12期1-3,56,共4页朱伟 林胜奇 吴希 雷佳伟 
将中韩石化高密度聚乙烯HD570制备成200升包装桶,并在电子级化学品包装方面进行试用研究。结果显示HD570满足堆码和跌落测试,在电子化学品盛装测试中金属离子析出结果合格,但颗粒物析出结果不合格。通过熔指仪、万能材料试验机测试等手...
关键词：高密度聚乙烯 超纯桶 大中空 化学品包装 
超纯氩的纯化与检测
《低温与特气》2024年第2期33-36,47,共5页任越 
介绍了氩气纯化器的纯化工艺和超纯氩的检测方法,对超纯氩检测的结果表明,该纯化工艺满足超纯氩生产要求,该检测方法具有检测可靠性。
关键词：超纯氩 纯化器 吸气剂 
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