超硬效应

作品数：50被引量：203H指数：10
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：李戈扬孔明岳建岭赵文济许俊华更多>>
相关机构：上海交通大学江苏科技大学上海理工大学武汉科技大学更多>>
相关期刊：《材料热处理学报》《中国机械工程》《电子显微学报》《上海交通大学学报》更多>>
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TiAlN/TiN纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：7
《真空科学与技术学报》2016年第7期807-812,共6页胡春华 董学超 李淼磊 黄小忠 岳建岭 
国家自然科学基金项目资助(No.51201187);新型特种纤维及其复合材料湖南省重点实验室开放课题资助
采用多靶反应磁控溅射制备了一系列TiAlN层厚固定,TiN层厚在一定范围内连续变化的不同调制结构的TiAlN/TiN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、纳米压痕仪和CETR-UMT-3型多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微观结构和力学性...
关键词：反应磁控溅射 TiAlN/TiN纳米多层膜 调制结构 超硬效应 
NbSiN纳米复合膜的显微结构、超硬效应和机理的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2016年第6期649-653,共5页陈朋灿 李伟 刘平 张柯 马凤仓 陈小红 何代华 
国家自然科学基金项目(51471110)
采用NbSi复合靶,通过调节Nb与Si的比例,利用磁控溅射射频工艺,在单晶硅片上沉积不同Si含量的NbSiN纳米复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高分辨透射电镜等,研究了Si含量对NbSiN纳米复合膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明:随...
关键词：NbSiN纳米复合膜 显微结构 超硬效应 强化机制 
反应溅射HfC/Si_3N_4纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：3
《真空科学与技术学报》2011年第5期574-578,共5页张晶晶 许辉 祝新发 李冠群 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(U0774001)
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的HfC/Si3N4纳米多层膜,采用X射线光电子能谱、X射线衍射、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量,研究了Si3N4层厚度变化对纳米多层膜微结构与力学性能的影响。...
关键词：HfC/Si3N4 纳米多层膜 外延生长 超硬效应 
TiN/Si_3N_4纳米多层膜的生长结构与超硬效应被引量：13
《真空科学与技术学报》2005年第4期263-267,274,共6页胡晓萍 董云杉 孔明 李戈扬 顾明元 
上海市纳米专项基金(0352nm084)
采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层厚对多层膜生长结构和力学性能的影响。结果表明:当Si3N4层厚...
关键词：TiN/Si3N4纳米多层膜 Si3N4晶化 外延生长 超硬效应 
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