超硬效应

作品数：50被引量：203H指数：10
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：李戈扬孔明岳建岭赵文济许俊华更多>>
相关机构：上海交通大学江苏科技大学上海理工大学武汉科技大学更多>>
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TiN／Si_3N_4纳米多层膜硬度对Si_3N_4层厚敏感性的研究被引量：3
《金属学报》2007年第2期154-158,共5页赵文济 孔明 乌晓燕 李戈扬 
国家自然科学基金50571062~~
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si_3N_4层厚的TiN/Si_3N_4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和硬度,研究了其硬度随Si_3N_4层厚微小改变而显著变化的原因．结果表...
关键词：TiN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 晶化 超硬效应 
TaN/TiN和TaWN/TiN多晶超晶格薄膜的微结构与超硬效应被引量：9
《金属学报》1999年第11期1214-1218,共5页许俊华 李戈扬 顾明元 
通过磁控反应溅射仪制备了ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴａＷＮ／ＴｉＮ多晶超晶格薄膜，采用Ｘ射线衍射仪（ＸＲＤ）、透射电子显微镜和显微硬度仪对超晶格薄膜的微结构和硬度进行了分析结果表明，ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴａＷＮ／ＴｉＮ二超晶格体系...
关键词：超晶格薄膜 晶格错配度 超硬效应 多晶 薄膜 
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