超硬效应

作品数：50被引量：203H指数：10
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：李戈扬孔明岳建岭赵文济许俊华更多>>
相关机构：上海交通大学江苏科技大学上海理工大学武汉科技大学更多>>
相关期刊：《材料热处理学报》《中国机械工程》《电子显微学报》《上海交通大学学报》更多>>
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纳米多层膜中的交变应力场与超硬效应被引量：2
《电子显微学报》2004年第4期374-374,共1页张惠娟 袁家栋 许辉 赵文济 李戈扬 
上海市专利技术二次开发项目 (No .0 3 72 5 0 5 2 )
关键词：陶瓷材料 纳米多层膜 交变应力场 超硬效应 透射电子显微镜 显微结构分析 
NbN/TaN纳米多层膜的微结构及超高硬度效应被引量：3
《无机材料学报》2000年第3期561-564,共4页许俊华 李戈扬 顾明元 
用磁控反应溅射的方法在不锈钢基片上制备了NbN／TaN纳米多层薄膜，试验采用X射线衍射仪（XRD）、透射电子显微镜（TEM）及显微硬度仪对薄膜的微结构和硬度进行分析，结果表明：在NbN／TaN多层膜中，NbN层为面心晶体结构，TaN层为六方...
关键词：NBN TAN 纳米多层膜 微结构 超硬效应 陶瓷 
Si_3N_4/TiN纳米多层膜的超硬效应被引量：4
《上海交通大学学报》2000年第3期347-350,共4页许俊华 顾明元 李戈扬 金燕苹 
采用磁控反应溅射工艺制备了Si3N4/TiN陶瓷纳米多层膜,运用X射线衍射、透射电镜和显微硬度仪等对纳米多层膜的微结构、应力状态和硬度进行测试.研究结果表明,Si3N4/TiN多层膜中,Si3N4层为非晶态,TiN层为晶态.Si3N4/TiN多层膜的显微硬度...
关键词：纳米多层膜 氮化硅 超硬效应 氮化钛 陶瓷膜 
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