抽气速率

作品数：53被引量：68H指数：5
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涡轮分子泵
《集成电路应用》2006年第3期37-37,共1页
Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于快速装配的设计。它可以应用于CD／DVD以及其它...
关键词：涡轮分子泵 CD/DVD 抽气速率 快速装配 溅射工艺 压力循环 
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