纯化器

作品数：175被引量：89H指数：4
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一种新型超高纯XCDA纯化器的研发被引量：2
《价值工程》2022年第5期50-52,共3页高嵩 阮方 崔冬 刘松青 
新型XCDA纯化器纯化后的10N超高纯压缩空气,广泛应用于集成电路12寸14~28nm高端产线及第三代半导体等新兴领域,是半导体核心ASML光刻机生产中主要使用的气体之一。研发主要分为三部分,纯化器工艺设计、纯化器外观设计、纯化器自控系统...
关键词：XCDA纯化器 10N 改良大容量吸附剂 工艺 吸附 自控系统 
一种微量水分仪的校准方法
《科技创新导报》2017年第5期67-67,69,共2页邱昌福 
通过光腔衰荡光谱法检测经纯化器纯化后的高纯氮气中的水分,进行微量水分仪的校准。结果表明,测试值在目标值范围内,且相对标准偏差小于2%,准确度高,稳定性好。此方法能够很好地应用于光腔衰荡式水分仪的校准。
关键词：高纯氮气 纯化器 校准 微量水分 光腔衰荡光谱法 
气体纯化器在高纯气体检验中的运用被引量：2
《计量与测试技术》2011年第1期49-50,共2页宋栋梁 
文中讲述了用DID微量气体分析系统,检验气体纯化器的纯化效果的试验过程,以图表的形式直观的描述了各种影响因素对纯化结果的影响。大家都知道气相色谱仪所用载气纯度越高,它的检测浓度就越低,用来检测高纯气体的水平就越高,所以微量气...
关键词：纯化器 气相色谱仪 检验 纯化效果 影响 
高效钯膜氢气纯化器及其应用被引量：1
《工厂动力》2010年第3期44-45,共2页徐恒泳 
众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气（99．99999％），主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大量的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。通过在多...
关键词：高纯氢气 纯化器 应用 钯膜 多孔支撑体 金属钯 钯复合膜 半导体 
谈终端纯化器的应用与设计被引量：1
《玻璃》2009年第11期27-29,共3页沈斌 
针对保护气输送过程中的二次污染所造成的锡液氧化、产品质量下降等问题提出了弥补的办法。就终端纯化装置对高纯气体中残余氧的堵截机理进行了理论分析,并提供了反应器的设计依据。
关键词：高纯气体 输送 污染 终端纯化 工艺设计 
配“1500”高纯氮设备纯化器球阀的改进
《深冷技术》1997年第4期33-34,共2页李毅 殷继承 
作者针对配纯化器的球阀寿命短、严重影响生产的问题,采用将其石墨密封圈浸泡在呋喃树脂中进行处理,将气源管线直径由φ8mm改为φ10mm,改造球体支撑,加强球阀检查等方法,保证了生产的顺利进行。
关键词：纯化器 球阀 高纯氮设备 氮气 
“170”高纯氮设备纯化器加温系统改造
《深冷技术》1997年第2期38-39,共2页张耀文 张庆祥 
1984年,我公司在杭州制氧机厂购得KZON－170/550型空分设备4套,为浮法玻璃生产线锡槽提供保护气体——高纯氮气。正常生产时开三套空分设备,为锡槽提供1500m3/h的高纯氮气。
关键词：空气分离设备 纯氮 纯化器 加温系统 改造 
在线式超高纯气体纯化器
《低温与特气》1994年第3期48-50,共3页木村正城 韩美 
在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０...
关键词：在线式 超高纯气体 纯化器 
720m^3/h高纯氮装置安装使用情况
《深冷技术》1989年第4期27-30,共4页沈斌 
介绍720 m3/h高纯氮(含氧小于3ppm)装置的流程、技术参数、安装、试车、使用的情况,并提出了目前存在的问题。调试过程运用了网络图。保障了各工序的衔接。图2。
关键词：高纯氮 浮法玻璃生产线 液空 制氧机 冷凝蒸发器 主换热器 透平膨胀机 纯化器 哈尔滨制氧机厂 技术参数 
廉价小型超高纯惰性气体纯化器
《低温与特气》1988年第3期70-70,共1页张应焞 韩美 
日本近畿冷热公司巳开始销售一种小型超高纯惰性气体纯化器——“ウルラトビエア一”。该纯化器由装化学和物理吸附剂的反应管、过滤器和管道构成，能脱除氮、氩和氦等惰性气体中的杂质。
关键词：惰性气体 纯化器 超高纯 廉价 物理吸附剂 反应管 过滤器 氩 
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