磁场传感

作品数：309被引量：706H指数：11
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MEMS磁场传感器的设计及测试被引量：6
《东南大学学报（自然科学版）》2011年第5期929-933,共5页陈洁 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助项目(61076071)
以U型梁为主要结构设计了一种新型的洛伦兹力驱动的磁场传感器,检测在磁场中作切割磁力线运动的金属线上的感生电压,实现磁场测量.首先介绍了传感器的工作原理,并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析,接着用有限元软件建立结构模...
关键词：磁场传感器 MEMS 洛仑兹力 谐振 
梳状谐振式磁场传感器设计被引量：2
《微纳电子技术》2007年第7期279-281,共3页李成章 黄庆安 
国家自然科学基金重点资助项目(90607002)
给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟。通过尺寸的设计,该传感器的灵敏度可以...
关键词：磁场传感器 谐振式 罗伦兹力 频率输出 
MEMS磁场传感器的研究进展被引量：8
《电子器件》2006年第4期1384-1388,共5页陈洁 黄庆安 秦明 
国家自然科学基金重点项目资助(90607002)
磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械(MEMS)的发展,用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理,对各类磁场传感器做了简要介绍,评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理...
关键词：磁场传感器 MEMS 洛仑兹力 谐振 
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