大气等离子体

作品数：55被引量：139H指数：7
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相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所上海恒益光学精密机械有限公司更多>>
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微结构光学零件的大气等离子体数控加工被引量：4
《光学精密工程》2013年第4期934-940,共7页李娜 王波 金会良 袁野 杨允利 
国家自然科学基金资助项目(No.51175123)
为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工,建立了大气等离子体数控加工系统。研究了该系统的平台设计、大气等离子体加工工艺特性及其数控加工过程。首先,根据大气等离子体加工的原理及要求介绍了该数控加工系统的组...
关键词：微结构光学零件 大气等离子体加工 去除深度 数控加工系统 
大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用被引量：18
《光学精密工程》2007年第11期1749-1755,共7页张巨帆 王波 董申 
国家自然科学基金资助项目(No.50535020);武器装备预研基金资助项目(No.9140A180202-06HT0132);黑龙江省自然科学基金资助项目(No.E200622)
发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道...
关键词：大气等离子体抛光法 超光滑表面 单晶硅 电容耦合 
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