张巨帆

作品数：6被引量：28H指数：3
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供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
发文主题：电容耦合常压等离子体等离子体炬超光滑表面大气等离子体更多>>
发文领域：金属学及工艺电子电信理学更多>>
发文期刊：《航空精密制造技术》《光学精密工程》《仪器仪表学报》《光谱学与光谱分析》更多>>
所获基金：武器装备预研基金国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金更多>>
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高精度轮廓控制的抛光机构控制系统设计
《仪器仪表学报》2015年第S01期330-337,共8页李泽 徐鹏 张巨帆 李兵 张志辉 
深港创新圈联合研发项目(SGLH20131010144128266)资助
抛光是提高自由曲面表面精度的一种重要手段,气囊抛光法做为近年来出现的实用性较高的抛光方法之一,日渐得到广泛应用.首先,根据气囊抛光的工作机理和七轴混联设备模型,提出采用以Power UMAC运动控制器和工业电脑为核心的气囊抛光运动...
关键词：控制系统 Power UMAC S型速度规划 轮廓控制 
用于SiC超光滑表面加工的大气等离子体抛光系统设计
《航空精密制造技术》2008年第4期11-14,共4页王家富 王波 张巨帆 董申 
设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中。针对SiC反射镜的加工实验结果表明,系统工作正常,并可以实现亚纳米级的表面粗糙度。
关键词：常压等离子体 超光滑 抛光 电容耦合 等离子体炬 
原子发射光谱分析技术在大气等离子体抛光工艺研究中的应用被引量：1
《光谱学与光谱分析》2008年第7期1641-1644,共4页王波 张巨帆 董申 
国家自然科学基金重点项目(50535020);国家自然科学基金项目(50775055);武器装备预研基金项目(9140A180202-06HT0132);黑龙江省自然科学基金项目(E200622)资助
大气等离子体抛光是一种非接触式的超精密加工方法,它基于低温等离子体化学反应实现原子级的材料去处,避免了表层和亚表层损伤,特别适合于各种难加工材料的超光滑抛光。该方法首次引入了基于电容耦合原理的射频炬式等离子体源,为测试等...
关键词：大气等离子体 电容耦合 工艺优化 抛光 原子发射光谱 
用于超光滑表面加工的常压低温等离子体抛光系统设计被引量：6
《纳米技术与精密工程》2008年第3期222-226,共5页张巨帆 王波 董申 
国家自然科学基金重点项目(50535020);武器装备预研基金项目(9140A180202-06HT0132);黑龙江省自然科学基金资助项目(E200622)
介绍了一种新型超光滑表面加工方法及其系统的设计.该方法主要基于低温等离子体化学作用,通过活性反应原子与工件表面原子间的化学反应实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤.该常压低温等离子体抛光系统首次引入了电容耦合式射...
关键词：常压等离子体 超光滑表面 等离子体炬 电容耦合 抛光 
大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用被引量：18
《光学精密工程》2007年第11期1749-1755,共7页张巨帆 王波 董申 
国家自然科学基金资助项目(No.50535020);武器装备预研基金资助项目(No.9140A180202-06HT0132);黑龙江省自然科学基金资助项目(No.E200622)
发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道...
关键词：大气等离子体抛光法 超光滑表面 单晶硅 电容耦合 
超光滑表面加工方法的新进展被引量：7
《光学技术》2007年第S1期150-154,共5页张巨帆 王波 董申 
国家自然科学基金重点项目(50535020);国家自然科学基金(50775055);武器装备预研基金(9140A180202-60HT0132);黑龙江省自然科学基金(E200622)
通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法。该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,...
关键词：超光滑表面 超精密加工 大气等离子体 电容耦合 
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