云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 超光滑

超光滑: 作品数：242被引量：712H指数：13; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>; 相关作者：王占山李成贵计时鸣沈正祥刘卫国更多>>; 相关机构：浙江工业大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所哈尔滨工业大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>

基于GBK标量散射模型的超光滑光学元件表面特性参数预测方法: 《红外与激光工程》2024年第10期152-160,共9页刘春江张耘豪钟哲强张彬; 国家重点研究与发展计划项目(2021YFC2202203)。; 在引力波探测系统中,要实现对引力波的高精度测量,超光滑光学元件散射特性至关重要。然而,现有光学元件表面特性参数测量方法难以满足超光滑光学元件的测量需求。针对这一难题,提出了一种基于GBK(Generalized Beckmann-Kirchhoff)标量...; 关键词：引力波探测超光滑光学元件 GBK标量散射模型表面粗糙度自相关长度

高洁净度超光滑非球面的自动化干涉检测方法: 《红外与激光工程》2024年第5期95-104,共10页李凌张家福陶鑫于宗伟李梦旭王任远陈西崔程光王向东; 为了实现应用于高能激光等领域对表面洁净度有着极高要求的超光滑非球面检测,排除检测人员带来的洁净度与空气扰动的影响,研究了高洁净度超光滑非球面的自动化干涉检测方法。通过建立补偿干涉法非球面失调量与波前像差之间的灵敏度矩阵...; 关键词：干涉检测补偿法灵敏度矩阵非球面 STEWART平台六自由度调整

空间引力波探测系统中超光滑光学元件表面散射特性分析被引量：5: 《光电工程》2023年第11期86-96,共11页张耘豪钟哲强张彬; 国家重点研究与发展计划资助项目(2021YFC2202203)。; 在引力波探测系统中,超光滑光学元件表面散射特性对高精度引力波测量至关重要。本文针对超光滑光学元件,建立了一种能快速准确地分析和预测其表面散射特性的非傍轴标量散射模型Generalized Beckmann-Kirchhoff(GBK)。在此基础上,研究了...; 关键词：超光滑光学元件表面散射模型偏振散射特性角分辨散射分布

线性液动压抛光流场的循环交变动压力衍生机制: 《中国机械工程》2023年第19期2288-2295,共8页谢重文东辉成志超孔凡志; 国家自然科学基金(51775509);浙江省自然科学基金重点项目(LZ17E050003)。; 针对线性液动压抛光过程中结构化抛光辊子与抛光工件表面之间形成的周期性流场,研究了该流场中工件表面的动压力作用规律。基于流体动力润滑理论,以楔形槽抛光辊子流场为例推导了工件表面的动压力数学模型,并建立了工件表面动压力随时...; 关键词：线性液动压抛光超光滑表面流场动压力循环交变特性

主轴外圆超光滑研磨工艺: 《金刚石与磨料磨具工程》2023年第4期447-454,共8页李彬宋晓宇吴媛媛张晓朋任东旭赵则祥; 国家自然科学基金(5197052166,51905558)。; 为改善精密磨削后主轴外圆柱面的表面粗糙度和圆度,提出新型立式精密研磨方法并研制立式研磨装置。文章选取立式研磨方式下气缸压力、油石粒度、主轴转速3个关键工艺参数对轴类零件加工精度的影响进行分析。基于L9(34)正交试验设计,采用...; 关键词：主轴零件立式研磨外圆研磨表面粗糙度

光刻胶掩膜材料超光滑表面切削: 《光学精密工程》2023年第13期1909-1921,共13页李秋怡周天丰周佳胡君剑赵斌; 国家自然科学基金面上项目(No.51875043);国家自然科学基金青年项目(No.52205441);重庆市自然科学基金面上项目(No.2022NSCQ-MSX3775)。; 鉴于以光刻胶为代表的高分子材料的切削特性决定了掩膜微细结构的加工质量,以SU8为研究对象,结合实验和仿真分析研究了光刻胶掩膜的切削特性。通过纳米压痕法测试了光刻胶SU8的应力-应变关系,建立了基于能量法的SU8切削仿真模型,然后采...; 关键词：超精密切削掩膜加工切削仿真光刻胶SU8 微透镜阵列

用于制备具有超光滑表面异质集成4英寸硅基砷化镓薄膜的高效离子剥离技术被引量：1: 《Science China Materials》2023年第1期211-218,共8页孙嘉良林家杰金婷婷池超旦周民 Robert Kudrawiec 李进游天桂欧欣; supported by the National Key R&D Program of China(2017YFE0131300);the National Natural Science Foundation of China(62174167,61874128);the Frontier Science Key Program of CAS(QYZDY-SSW-JSC032);the Key Research Project of Zhejiang Laboratory(2021MD0AC01);the Program of Shanghai Academic Research Leader(19XD1404600);K.C.Wong Education Foundation(GJTD-2019-11);NCBiR within the Polish-China(WPC/130/NIR-Si/2018)。; 在Si衬底上将单晶GaAs薄膜与其进行异质集成有望为硅基光电集成提供新的材料平台.本文基于对GaAs材料剥离机理的分析阐述,优化了GaAs薄膜转移工艺的离子注入条件.结果表明,相比于He离子单独注入,由于较小的热预算和注入后相对更低的缺...; 关键词：剥离技术化学机械抛光异质集成缺陷密度光电集成 GaAs薄膜离子注入表面处理工艺

科学家研制出极低缺陷亚埃级粗糙度石英超光滑表面: 《润滑与密封》2022年第12期82-82,共1页; 中科院大连化学物理研究所化学激光研究中心研究员李刚、研究员金玉奇团队与生物能源化学品研究组合作,以自主合成的新型超细纳米氧化铈(CeO_(2))为抛光浆料,利用化学机械抛光(CMP)技术,加工出极低缺陷亚埃级(<0.1 nm)表面粗糙度的超光...; 关键词：光学表面纳米氧化铈理论认知超光滑表面表面粗糙度加工过程抛光浆料石英表面

超光滑碳纳米薄膜低黏附特性及其机理研究: 《机械设计与制造工程》2022年第12期130-134,共5页陈福海范雪; 广东省自然科学基金自由申请项目(2018A030313908);深圳市科技计划基础研究(自由探索)项目(JCYJ20170817100822005)。; 纳米表面的低黏附通常采用增加表面粗糙度或表面构型来实现。对电子照射和离子照射制备的碳纳米薄膜进行表面形貌表征和黏附特性测试。结果表明,黏附力受到表面粗糙度和接触面积的共同影响,离子照射制备的碳纳米薄膜具有平均粗糙度为0.1...; 关键词：黏附特性碳纳米薄膜光滑表面离子照射

极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测被引量：3: 《光学精密工程》2022年第21期2688-2697,共10页余俊王占山黄秋实张众沈正祥焦宏飞盛鹏峰夏菁菁王一凡; 国家重点研发计划资助项目(No.2019YFE03080200);国家自然科学基金资助项目(No.62105244)。; 极紫外、X射线为微观物质认识、宏观空间探测提供了高精度的观测手段,但这类观测的实现需要大量高精度光学反射元件的支撑。由于极紫外、X射线在光学表面更易发生散射,其光学反射镜基底的精度需求和制作技术也明显区别于长波元件。近年...; 关键词：超精密加工极紫外 X射线反射镜基底非球面元件绝对检测

超光滑