王家富

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供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所更多>>
发文主题：超光滑常压等离子体SIC电容耦合抛光更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
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用于SiC超光滑表面加工的大气等离子体抛光系统设计
《航空精密制造技术》2008年第4期11-14,共4页王家富 王波 张巨帆 董申 
设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中。针对SiC反射镜的加工实验结果表明,系统工作正常,并可以实现亚纳米级的表面粗糙度。
关键词：常压等离子体 超光滑 抛光 电容耦合 等离子体炬 
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