移动法

作品数：102被引量：192H指数：8
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离子刻蚀工艺表面演化仿真的三维元胞模型被引量：1
《高技术通讯》2013年第11期1206-1212,共7页郑树琳 宋亦旭 孙晓民 
国家科技重大专项(2011ZX2403-002)资助项目
为了更好地理解和认识刻蚀机理,并为制造工艺提供优化指导,采用三维元胞模型研究了离子刻蚀工艺的表面演化过程。针对三维元胞模型内存使用量大,采用了静态数组和动态双向链表相结合的方式进行信息存储;提出了边界时间最短优先移动法,...
关键词：离子刻蚀 三维元胞模型 边界时间最短优先移动法 滚轮搜索法 
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