郑树琳

作品数：3被引量：4H指数：2
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离子刻蚀工艺表面演化仿真的三维元胞模型被引量：1
《高技术通讯》2013年第11期1206-1212,共7页郑树琳 宋亦旭 孙晓民 
国家科技重大专项(2011ZX2403-002)资助项目
为了更好地理解和认识刻蚀机理,并为制造工艺提供优化指导,采用三维元胞模型研究了离子刻蚀工艺的表面演化过程。针对三维元胞模型内存使用量大,采用了静态数组和动态双向链表相结合的方式进行信息存储;提出了边界时间最短优先移动法,...
关键词：离子刻蚀 三维元胞模型 边界时间最短优先移动法 滚轮搜索法 
基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法被引量：4
《物理学报》2013年第20期471-478,共8页杨宏军 宋亦旭 郑树琳 贾培发 
国家科技重大专项(批准号:2011ZX2403-002)资助的课题~~
为了研究表面演化过程的机理,提出了一种基于压缩表示的三维表面演化方法来模拟等离子体刻蚀工艺,并着重探讨了对离子刻蚀的仿真.为了解决三维元胞自动机内存需求量大的问题,该方法将二维数组和动态存储方式相结合,既实现元胞信息的无...
关键词：等离子体刻蚀 元胞自动机 表面演化方法 高分辨率仿真 
基于三维元胞模型的刻蚀工艺表面演化方法被引量：2
《物理学报》2013年第10期419-427,共9页郑树琳 宋亦旭 孙晓民 
国家科技重大专项(批准号:2011ZX2403-002)资助的课题~~
为了更好地理解和认识刻蚀机理,并为制造工艺提供优化指导,采用三维元胞模型研究了刻蚀工艺的表面演化过程,并着重探讨了离子对表面演化过程的影响.针对刻蚀离子入射角度的求解问题,提出了一种降维分量拟合方法,将一个三维曲面拟合问题...
关键词：刻蚀 三维元胞模型 表面演化算法 降维分量拟合 
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