等离子体损伤

作品数:15被引量:18H指数:2
导出分析报告
相关领域:电子电信更多>>
相关作者:郝跃唐瑜王守国胡顺欣邓建国更多>>
相关机构:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华力微电子有限公司上海华虹宏力半导体制造有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司更多>>
相关期刊:《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》《电子与封装》《微电子学》更多>>
相关基金:国家自然科学基金江苏省高技术研究计划项目国家高技术研究发展计划上海市教育委员会重点学科基金更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
郝跃
西安电子科技大学微...
唐瑜
西安电子科技大学微...
王守国
中国科学院微电子研...
胡顺欣
中国电子科技集团第...
邓建国
中国电子科技集团第...
苏延芬
中国电子科技集团第...