等离子体损伤

作品数：15被引量：18H指数：2
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相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华力微电子有限公司上海华虹宏力半导体制造有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司更多>>
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《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《电子与封装》
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作品数：4428被引量：6040H指数：21
issn：1681-1070cn：32-1709/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所
发文主题：封装 可靠性 FPGA 封装技术 集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 金属学及工艺
《微电子学》
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作品数：5533被引量：8861H指数：20
issn：1004-3365cn：50-1090/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第二十四研究所
发文主题：CMOS 集成电路 低功耗 A/D转换器 模拟集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程 文化科学
《中国科技论文在线精品论文》
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作品数：341被引量：106H指数：3
issn：1674-2850cn：11-9150/N5
主办单位：教育部科技发展中心
发文主题：人工智能 电气工程 其他学科 计算机应用 机械设计
发文领域：自动化与计算机技术 理学 医药卫生 生物学 电子电信
《物理学报》
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作品数：30104被引量：93908H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《电子学报》
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作品数：14613被引量：89266H指数：83
issn：0372-2112cn：11-2087/TN
主办单位：中国电子学会
发文主题：神经网络 网络 自适应 性能分析 遗传算法
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 一般工业技术
《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《固体电子学研究与进展》
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作品数：3723被引量：4431H指数：13
issn：1000-3819cn：32-1110/TN
主办单位：南京电子器件研究所
发文主题：GAAS 砷化镓 硅 GAN 氮化镓
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 文化科学
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