体硅工艺

作品数:53被引量:142H指数:6
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:郝一龙张大成吴亚明钟莹张国雄更多>>
相关机构:北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关期刊:《仪器仪表学报》《遥测遥控》《西安交通大学学报》《中国惯性技术学报》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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郝一龙
北京大学微电子学研...
张大成
北京大学信息科学技...
吴亚明
中国科学院上海微系...
钟莹
天津大学精密仪器与...
张国雄
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徐永青
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