体硅工艺

作品数：53被引量：142H指数：6
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相关作者：郝一龙张大成吴亚明钟莹张国雄更多>>
相关机构：北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关期刊：《仪器仪表学报》《遥测遥控》《西安交通大学学报》《中国惯性技术学报》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1396218H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
国家杰出青年科学基金
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作品数：32544被引量：308332H指数：139
相关主题：数值模拟 稳定性 力学性能 有限元 影响因素
相关领域：医药卫生 自动化与计算机技术 理学 天文地球 建筑科学
国家重点基础研究发展计划
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作品数：273389被引量：1709417H指数：255
相关主题：数值模拟 英文 力学性能 气候变化 影响因素
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
国家杰出青年科学基金(50525515)
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作品数：11被引量：31H指数：3
相关主题：润滑分析 键合技术 微尺度 体硅工艺 气体润滑
相关领域：机械工程 动力工程及工程热物理 理学
国家自然科学基金(50275108)
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作品数：8被引量：30H指数：4
相关主题：微机电系统 谐振器 时频分析 加速度计 体硅工艺
相关领域：电子电信 机械工程 一般工业技术
国家重点基础研究发展计划(2003CB716205)
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作品数：39被引量：74H指数：5
相关主题：磁头 气体润滑 磁盘 承载面 硬盘
相关领域：机械工程 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 自然科学总论
国家自然科学基金(60877066)
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作品数：5被引量：13H指数：2
相关主题：微光机电系统 体硅工艺 高占空比 静电驱动 平行平板
相关领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术
中国航空科学基金
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作品数：22248被引量：102761H指数：61
相关主题：复合材料 无人机 航空发动机 数值模拟 飞机
相关领域：航空宇航科学技术 自动化与计算机技术 电子电信 一般工业技术 金属学及工艺
国家高技术研究发展计划(2007AA04Z315)
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作品数：6被引量：11H指数：2
相关主题：体硅工艺 有限元方法 超声波换能器 超声波 并联
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 金属学及工艺 机械工程
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