国家自然科学基金(60877066)

作品数：5被引量：13H指数：2
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相关作者：吴亚明徐静钟少龙翟雷应龙亮更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《Chinese Optics Letters》《微纳电子技术》《光电子．激光》更多>>
相关主题：微光机电系统体硅工艺高占空比静电驱动平行平板更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量：5
《光学精密工程》2013年第2期400-407,共8页刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA03Z406;2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(60877066)
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 
基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器被引量：2
《光电子．激光》2012年第9期1635-1643,共9页翟雷应 徐静 吴亚明 刘闯 雷洪波 陶大勇 
国家高技术研究发展“863”计划(2008AA03Z406,2009AA03Z443);国家自然科学基金(60877066)资助项目
设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器...
关键词：光纤相位调制器 MEMS 垂直梳齿 微镜 光纤传感器 
Wavelength-selective switch based on a high fill-factor micromirror array
《Chinese Optics Letters》2011年第9期5-7,共3页李四华 万助军 徐靜 钟少龙 吴亚明 
supported by the National "863" Program of China (Nos. 2008AA03Z406 and 2009AA03 Z443);the National Natural Science Foundation of China (No. 60877066)
A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system （MEMS） micromirror array-based wavelength-selective switch （WSS） is presented. The WSS is composed of a polarization-i...
关键词：Machine design Microelectromechanical devices Switching functions 
多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制被引量：6
《光学精密工程》2011年第8期1816-1823,共8页李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA03Z406;No.2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(No.60877066)
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多...
关键词：微光机电系统 多台阶平板 平行平板 静电驱动 微镜阵列 高占空比 
三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构被引量：1
《微纳电子技术》2011年第5期326-332,共7页黄占喜 吴亚明 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA03Z406;2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(60877066)
提出了一种新颖的基于三维掩膜的硅各向异性腐蚀工艺,即利用深反应离子刻蚀、湿法腐蚀等常规体硅刻蚀工艺和氧化、化学气相沉积(CVD)等薄膜工艺制作出具有三维结构的氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜,以该三维薄膜作为掩膜进行各向异性...
关键词：微悬空结构释放 体硅工艺 三维掩膜 各向异性腐蚀 腐蚀模拟 
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