互连工艺

作品数:38被引量:26H指数:2
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相关领域:电子电信更多>>
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相关机构:复旦大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊:《质谱学报》《电气传动》《微电子学》《集成电路应用》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家科技支撑计划国防基础科研计划更多>>
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