互连工艺

作品数:38被引量:26H指数:2
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:张昱曾翔君张卫丁士进王春青更多>>
相关机构:复旦大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊:《质谱学报》《电气传动》《微电子学》《集成电路应用》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数:3164197被引量:8349380H指数:432
相关主题:数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家科技支撑计划
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作品数:197714被引量:1304069H指数:191
相关主题:数值模拟 玉米 水稻 影响因素 小麦
相关领域:农业科学 医药卫生 建筑科学 自动化与计算机技术 环境科学与工程
国家杰出青年科学基金
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作品数:32544被引量:308332H指数:139
相关主题:数值模拟 稳定性 力学性能 有限元 影响因素
相关领域:医药卫生 自动化与计算机技术 理学 天文地球 建筑科学
国防基础科研计划
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作品数:7087被引量:33215H指数:43
相关主题:数值模拟 力学性能 复合材料 仿真 遗传算法
相关领域:自动化与计算机技术 航空宇航科学技术 理学 电子电信 金属学及工艺
国家自然科学基金(69936020)
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作品数:16被引量:40H指数:4
相关主题:ULSI 铜互连线 电子背散射衍射 EBSD 可靠性
相关领域:电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 理学
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