云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(69936020)

国家自然科学基金(69936020): 作品数：16被引量：40H指数：4; 导出分析报告; 相关作者：吉元李志国夏洋王晓冬刘丹敏更多>>; 相关机构：北京工业大学中国科学院微电子研究所中国人民武装警察部队学院北京科技大学更多>>; 相关期刊：《北京工业大学学报》《物理学报》《电子显微学报》《中国体视学与图像分析》更多>>; 相关主题：ULSI铜互连线电子背散射衍射EBSD可靠性更多>>; 相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术理学更多>>

铝和铜互连线的晶粒结构及残余应力研究: 《北京工业大学学报》2010年第1期81-86,共6页王晓冬卫斌张隐奇刘志民吉元; 国家自然科学基金资助项目(69936020); 采用X射线衍射仪和扫描探针显微镜,观察和测量了分别由大马士革工艺制备的Cu互连线和由反应刻蚀工艺制备的Al互连线的晶粒结构和应力状态.大马士革工艺凹槽中的Cu互连线受到机械应力的影响,使Cu互连线的晶粒尺寸（45~65 nm）小于Al互连...; 关键词：Al互连线 Cu互连线晶粒结构织构应力

Ni-W合金原位拉伸形变的电子背散射衍射分析: 《电子显微学报》2008年第6期443-446,共4页王丽田彦宝张隐奇吉元索红利高忙忙祝永华; 国家自然科学基金资助项目(No.69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金资助项目(No.51439040203 QT0101)~~; 采用配置在场发射扫描电镜中的电子背散射衍射仪和应变微拉伸仪,统计分析了Ni-W合金在原位单轴拉伸变形过程中,显微结构、晶界分布、晶粒转动及晶体学取向的变化。在形变(ε=22%)过程中,Ni-9%W合金中的大量晶粒转动,产生滑移,并分为亚...; 关键词：原位形变电子背散射衍射晶粒转动晶界特征

GaN外延结构中微区应变场的测量和评价: 《电子学报》2008年第11期2139-2143,共5页王俊忠吉元田彦宝牛南辉徐晨韩军郭霞沈光地; 国家自然科学基金(No.69936020); 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量GaN/蓝宝石结构中的弹性应变场.将EBSD菊池衍射花样的图像质量IQ值及小角度错配作为应力敏感参数,表征GaN-Buffer层-蓝宝石结构中的晶格畸变和转动,显示微区弹性应变场.在GaN/蓝宝石系统中,弹性应变...; 关键词：电子背散射衍射(EBSD) 微区应力 GAN外延层

Texture Analysis of Damascene Copper Interconnects被引量：2: 《Journal of Semiconductors》2008年第6期1136-1140,共5页王晓冬吉元钟涛兴李志国夏洋刘丹敏肖卫强; 国家自然科学基金资助项目(批准号:69936020)~~; Texture and grain boundary character distribution of Cu interconnects with different line width for as-deposited and annealed conditions were measured by EBSD. All specimens appear mixed texture and （111） texture is...; 关键词：Cu interconnects TEXTURE MISORIENTATION coincident site lattice boundaries EBSD

Cu金属化系统双扩散阻挡层的研究被引量：1: 《微纳电子技术》2008年第3期179-182,共4页王晓冬吉元钟涛兴李志国夏洋刘丹敏肖卫强; 国家自然科学基金重点资助项目(69936020); 采用二次离子质谱仪(SIMS)测试了SiON和Ta双层扩散阻挡层及Ta扩散阻挡层的阻挡性能;采用X射线衍射仪(XRD)测量了沉积态有Ta阻挡层和无阻挡层Cu膜的晶体学取向结构;利用电子薄膜应力测试仪测量了具有双层阻挡层Cu膜的应力分布状况。测试...; 关键词：CU互连氮氧化硅钽扩散阻挡层二次离子质谱仪 X射线衍射仪

大马士革镶嵌结构对Cu膜微结构及应力的影响: 《微电子学》2008年第1期89-92,共4页王晓冬吉元李志国夏洋刘丹敏肖卫强; 国家自然科学基金资助项目(69936020); 通过TEM、SEM、XRD和EBSD,观察了Cu互连线和平坦Cu膜的微观结构。采用薄膜应力测试分布仪和二维面探测器XRD,测量了平坦Cu膜和Cu互连线的应力,计算了Cu薄膜热应力的理论值。凹槽侧壁成为互连线新的形核区域,并且在平行于侧壁的方向形成...; 关键词：Cu互连线大马士革镶嵌结构凹槽晶体学取向

Al互连线和Cu互连线的显微结构被引量：6: 《物理学报》2007年第1期371-375,共5页王俊忠吉元王晓冬刘志民罗俊锋李志国; 国家自然科学基金(批准号:69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金(批准号:51439040203QT0101)资助的课题~~; 利用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构,包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽,及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及...; 关键词：电子背散射衍射互连线显微结构电徙动

A l互连线微结构的EBSD分析与电徙动可靠性: 《中国体视学与图像分析》2005年第4期218-220,共3页王俊忠刘志民钟涛兴张隐奇李志国吉元; 国家自然科学基金委重点基金(69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金(51439040203); 采用电子背散射衍射技术(EBSD),测量了微电子器件中A l互连线的晶粒结构、晶体学取向和晶界特征。A l互连线制备及退火工艺影响着互连线的显微结构和电徙动中值寿命(MTF)。结果表明,退火后晶粒明显长大,晶粒呈近竹节结构,形成很强的{111...; 关键词：Al互连线 EBSD 晶粒结构电徙动

钛合金焊缝的EBSD分析被引量：7: 《中国体视学与图像分析》2005年第4期241-243,共3页罗俊锋吉元曹莹陈俐李晓延; 国家自然科学基金委重点基金(69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金(51439040203); 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,对CO2激光焊接Ti-A l-Nb合金焊缝熔池和热影响区(HAZ)的晶体学取向、晶粒结构及晶界特征进行了测量和分析。此外,EBSD菊池衍射花样质量(IQ)参数表明,经过退火处理后焊缝中的残余应力已基本消除。; 关键词：钛合金焊缝电子背散射衍射(EBSD) CO2激光焊接

ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性被引量：1: 《电子学报》2004年第8期1302-1304,共3页王晓冬吉元李志国卢振军夏洋刘丹敏肖卫强; 国家自然科学基金 (No .699360 2 0 ); 观察了ULSI中大马士革结构的Cu互连线的晶粒生长和晶体学取向 .分析了线宽及退火对Cu互连线显微结构及电徙动的影响 .Cu互连线的晶粒尺寸随着线宽的变窄而减小 .与平坦Cu膜相比 ,Cu互连线形成微小的晶粒和较弱的 (111)织构 .30 0℃、30...; 关键词：Cu互连线晶体学取向晶粒尺寸电徙动

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