罗俊锋

作品数：4被引量：15H指数：3
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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：电子背散射衍射EBSD分析EBSD互连线局域更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《物理学报》《电子显微学报》《中国体视学与图像分析》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
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Al互连线和Cu互连线的显微结构被引量：6
《物理学报》2007年第1期371-375,共5页王俊忠 吉元 王晓冬 刘志民 罗俊锋 李志国 
国家自然科学基金(批准号:69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金(批准号:51439040203QT0101)资助的课题~~
利用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构,包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽,及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及...
关键词：电子背散射衍射 互连线 显微结构 电徙动 
多晶NiTi形状记忆合金中原位应力诱发马氏体相变的研究
《电子显微学报》2006年第B08期114-115,共2页毛圣成 韩晓东 罗俊锋 王俊忠 张泽 WU M H 
关键词：NITI形状记忆合金 应力诱发马氏体相变 多晶结构 原位观测 NITI记忆合金 NITI合金 宏观力学性能 背散射电子衍射 
半导体结构中局域弹性应变场的电子背散射衍射分析被引量：3
《电子显微学报》2006年第2期104-107,共4页罗俊锋 王俊忠 牛南辉 赵林林 张隐奇 郭霞 沈光地 吉元 
北京市教委研究项目(KM200310005009)资助
采用扫描电镜中的电子背散射衍射（Electron Backscattering Diffraction,EBSD）技术,对硼掺杂的可动悬空硅薄膜和用于激光二极管（LED）的蓝宝石衬底上异质外延生长GaN层中的弹性应变区进行了测量.将菊池图的图像质量（IQ）和Hough转...
关键词：电子背散射衍射(EBSD) 弹性应变分布 硅薄膜 GAN外延层 
钛合金焊缝的EBSD分析被引量：7
《中国体视学与图像分析》2005年第4期241-243,共3页罗俊锋 吉元 曹莹 陈俐 李晓延 
国家自然科学基金委重点基金(69936020);军用模拟集成电路国防科技重点实验室基金(51439040203)
采用电子背散射衍射(EBSD)技术,对CO2激光焊接Ti-A l-Nb合金焊缝熔池和热影响区(HAZ)的晶体学取向、晶粒结构及晶界特征进行了测量和分析。此外,EBSD菊池衍射花样质量(IQ)参数表明,经过退火处理后焊缝中的残余应力已基本消除。
关键词：钛合金 焊缝 电子背散射衍射(EBSD) CO2激光焊接 
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