光学邻近效应

作品数：34被引量：53H指数：3
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：李艳秋马旭罗先刚郭永康王长涛更多>>
相关机构：ASML荷兰有限公司中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华力集成电路制造有限公司更多>>
相关期刊：《微电子技术》《光学学报》《微细加工技术》《中国集成电路》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
李艳秋
北京理工大学
马旭
北京理工大学
罗先刚
中国科学院光电技术...
郭永康
四川大学物理科学与...
王长涛
中国科学院光电技术...
石瑞英
四川大学物理科学与...
相关机构更多
相关主题更多