光学邻近效应

作品数：34被引量：53H指数：3
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：李艳秋马旭罗先刚郭永康王长涛更多>>
相关机构：ASML荷兰有限公司中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华力集成电路制造有限公司更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《激光与光电子学进展》
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作品数：15719被引量：39110H指数：38
曾用名：国外激光
issn：1006-4125cn：31-1690/TN
主办单位：中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：图像处理 激光 激光器 激光技术 机器视觉
发文领域：电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺
《光电工程》
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作品数：6237被引量：23379H指数：37
曾用名：光学工程
issn：1003-501Xcn：51-1346/O4
主办单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
发文主题：图像处理 目标跟踪 小波变换 自适应光学 英文
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 理学 一般工业技术
《微电子学与计算机》
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作品数：12221被引量：28835H指数：32
issn：1000-7180cn：61-1123/TN
主办单位：西安微电子技术研究所
发文主题：FPGA 计算机 微电子学 无线传感器网络 遗传算法
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 文化科学 电气工程 经济管理
《中国激光》
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作品数：14817被引量：55560H指数：49
issn：0258-7025cn：31-1339/TN
主办单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：激光技术 激光器 激光 光纤光学 激光光学
发文领域：电子电信 理学 机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术
《激光杂志》
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作品数：11736被引量：25127H指数：32
曾用名：四川激光
issn：0253-2743cn：50-1085/TN
主办单位：重庆市光学机械研究所
发文主题：激光 CO_2激光 激光治疗 激光器 光纤
发文领域：电子电信 医药卫生 理学 机械工程 自动化与计算机技术
《微电子技术》
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作品数：920被引量：850H指数：10
曾用名：江南半导体通讯
issn：1008-0147cn：32-1479/TN
主办单位：中国华晶电子集团公司
发文主题：集成电路 IC VLSI CMOS 大屏幕彩电
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 机械工程
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