CU互连

作品数:49被引量:92H指数:5
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相关领域:电子电信更多>>
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相关机构:哈尔滨工程大学复旦大学云南大学兰姆研究公司更多>>
相关期刊:《微细加工技术》《功能材料》《真空科学与技术学报》《固体电子学研究与进展》更多>>
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