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作品数：24被引量：55H指数：5
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国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家自然科学基金(BK2002010)
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作品数：2被引量：3H指数：1
相关主题：CMP CEO PRECURSOR POLISHING ULTRAFINE
相关领域：金属学及工艺 电子电信
国家自然科学基金(50375021)
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作品数：18被引量：59H指数：5
相关主题：研磨 非球面 磨具 抛物面 高速研磨
相关领域：金属学及工艺 机械工程 化学工程 理学 一般工业技术
国家自然科学基金(50390061)
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作品数：67被引量：409H指数：10
相关主题：化学机械抛光 硅片 材料去除机理 铜 磁头
相关领域：电子电信 金属学及工艺 机械工程 一般工业技术 化学工程
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