注氧隔离技术

作品数：4被引量：1H指数：1
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相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所北京师范大学沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
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辽宁省自然科学基金
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作品数：32329被引量：164622H指数：72
相关主题：数值模拟 力学性能 遗传算法 小鼠 凋亡
相关领域：医药卫生 自动化与计算机技术 理学 农业科学 金属学及工艺
辽宁省自然科学基金(20102162)
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作品数：5被引量：9H指数：2
相关主题：硅 SOI晶圆 压力传感器 混合信号 膜结构
相关领域：自动化与计算机技术
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