辽宁省自然科学基金(20102162)

作品数：5被引量：9H指数：2
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SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析
《仪表技术与传感器》2015年第8期13-15,共3页李新 薛阳 李春风 
辽宁省自然基金资助项目(20102162)
提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过...
关键词：有限元 SiO2-Si3 N4-SiO2复合梁 压力传感器 
压力传感器混合信号调理电路的设计被引量：4
《仪表技术与传感器》2013年第10期8-10,共3页李新 龙婉艺 
辽宁省自然科学基金项目(20102162)
详细介绍了压力传感器混合信号调理电路的设计，使用经典的三运放方式组成仪表放大电路，实现了模拟量的放大输出及归一化，采用二阶有源滤波电路抑制噪声的干扰，使用AVR单片机对模拟信号进行采样处理并控制开关量的输出，采用数字滤...
关键词：混合信号 数字滤波 压力传感器 
基于SOI晶圆材料的硅微压传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2012年第5期15-16,共2页李新 刘野 刘沁 孙承松 
辽宁省自然基金项目(20102162)
为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小...
关键词：硅微压传感器 岛-膜结构 SOI晶圆 
微型硅基弯曲板波器件
《传感技术学报》2012年第4期453-456,共4页李新 刘梦伟 薛明鑫 
国家自然科学基金项目(10804119);辽宁省自然基金项目(20102162)
介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。...
关键词：弯曲板波 ZNO压电薄膜 多层复合板 叉指电极 
注氧隔离技术SOI晶圆材料高温压阻效应被引量：1
《仪表技术与传感器》2011年第6期1-2,共2页李新 刘沁 
辽宁省自然基金项目(20102162);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金项目
针对注氧隔离技术制备的SOI晶圆顶层硅材料的高温压阻效应,设计并制作研究压阻效应的实验装置与测试样品,在高温条件下,利用悬臂梁结构研究SOI晶圆顶层硅的压阻效应。研究结果表明:在一定的掺杂浓度条件下,硅[110]晶向上的纵向压阻系数...
关键词：压阻效应 注氧隔离 高温 
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