缺陷密度

作品数：125被引量：120H指数：5
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衬底
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作品数：3096被引量：4656H指数：18
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半导体
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作品数：54430被引量：47949H指数：51
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单晶
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作品数：7386被引量：10239H指数：23
相关主题：单晶硅 单晶炉 单晶硅片 单晶生长 坩埚
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晶体
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作品数：38915被引量：58473H指数：47
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发光
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作品数：31661被引量：36737H指数：49
相关主题：发光二极管 发光元件 显示装置 发光层 发光器件
相关领域：电子电信 理学
晶格
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作品数：4374被引量：6326H指数：21
相关主题：超晶格 晶格常数 晶格结构 晶格失配 晶格畸变
相关领域：理学
氮化物
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作品数：1352被引量：3605H指数：21
相关主题：氮化物半导体 碳氮化物 半导体器件 衬底 III族氮化物
相关领域：电子电信 金属学及工艺 一般工业技术
导体
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作品数：13322被引量：13936H指数：30
相关主题：半导体结构 电缆 超导体 内导体 外导体
相关领域：电气工程 一般工业技术 理学
外延层
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作品数：289被引量：249H指数：6
相关主题：衬底 半导体器件 导电类型 掺杂 半导体
相关领域：电子电信
晶体质量
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作品数：169被引量：199H指数：7
相关主题：衬底 位错 外延层 籽晶 氮化物
相关领域：电子电信 理学
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