硅片直接键合

作品数：30被引量：64H指数：5
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王新
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作品数：10被引量：40H指数：4
发文主题：硅片直接键合 谐振特性 小型化 输出腔 真空微波
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 轻工技术与工程
何进
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作品数：16被引量：78H指数：4
发文主题：集成电路技术 电路 硅片直接键合 反相器 功耗
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 电气工程 化学工程
陈星弼
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作品数：51被引量：136H指数：5
发文主题：半导体器件 半导体 导电类型 击穿电压 高压器件
发文领域：电子电信 电气工程 经济管理 理学 一般工业技术
黄庆安
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作品数：277被引量：656H指数：11
发文主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 一般工业技术
童勤义
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作品数：48被引量：61H指数：4
发文主题：传感器 高温 键合 硅 硅片
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 理学
孙国梁
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作品数：3被引量：3H指数：1
发文主题：硅片直接键合 硅片 SOI 键合 薄层
发文领域：电子电信
廖广兰
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作品数：91被引量：348H指数：9
发文主题：太阳能电池 钙钛矿 子层 光阳极 光刻胶
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 金属学及工艺 一般工业技术
茅盘松
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作品数：33被引量：68H指数：5
发文主题：硅 振动陀螺 微硅 加速度计 扭摆式
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 航空宇航科学技术 交通运输工程
唐国洪
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作品数：19被引量：13H指数：2
发文主题：MCT 新型功率器件 二极管 硅 场发射
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程
秦明
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作品数：113被引量：327H指数：9
发文主题：风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
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