吴艳苹

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:西南交通大学材料科学与工程学院材料先进技术教育部重点实验室更多>>
发文主题:氮化钛非平衡磁控溅射工业纯铁结合力偏压更多>>
发文领域:金属学及工艺更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
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工业纯铁等离子体氮化及Ti/TiN多层薄膜沉积复合处理研究被引量:4
《真空科学与技术学报》2009年第6期581-585,共5页陈畅子 孙鸿 吴艳苹 白彬 张鹏程 冷永祥 黄楠 
表面物理与化学国家重点实验室基金(SPC200701);教育部新世纪人才计划(NCET-06-0800);四川省杰出青年学科带头人培养资助计划(06ZQ026-015)资助
为改善工业纯铁的耐磨抗腐蚀性能,本文采用低偏压高频等离子浸没离子注入及氮化技术(HLPⅢ)对工业纯铁进行表面改性,然后利用非平衡磁控溅射技术(UBMS)在低压高频等离子浸没离子注入及氮化处理样品表面制备Ti/TiN多层膜。研究发现,工业...
关键词:低偏压高频等离子浸没离子注入 非平衡磁控溅射 耐腐蚀 氮化钛 结合力 
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