徐元直

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性实验室更多>>
发文主题：双等离子体更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《北京师范大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究被引量：1
《北京师范大学学报（自然科学版）》2007年第2期154-157,共4页王耀辉 张旭 吴先映 徐元直 张荟星 张孝吉 
国家自然科学基金资助项目(50141022)
采用直流金属磁过滤阴极真空弧（FCVA）制造出Ti和乙炔（C2H2）气体的双等离子体在单晶硅（100）上制备非晶态碳膜．重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响．研究结果表明，薄膜中主要成分是TiC，...
关键词：非晶态碳膜 磁过滤阴极真空弧 过滤线圈电流 乙炔的体积流量 结构和性能 
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