戴文琦

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：上海大学更多>>
发文主题：HGCDTE红外器件类金刚石薄膜钝化膜增透膜更多>>
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类金刚石薄膜作为HgCdTe红外器件增透膜和钝化膜的研究被引量：3
《功能材料与器件学报》1998年第3期213-216,共4页居建华 吴汶海 许俊芬 戴文琦 夏义本 
采用高频等离子化学气相沉积法（ＲＦＣＶＤ）在ＨｇＣｄＴｅ红外器件上沉积类金刚石薄膜。俄歇电子能谱对ＤＬＣ／ＨｇＣｄＴｅ界面分析结果表明类金刚石薄膜中的碳原子对衬底材料影响较小，７０ｎｍ的类金刚石薄膜能抑制衬底组份的外...
关键词：类金刚石薄膜 红外器件 增透膜 钝化膜 
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