曾志锋

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供职机构:武汉大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题:表面形貌TIO_2薄膜富积二氧化钛薄膜溅射法制备更多>>
发文领域:电子电信更多>>
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射频溅射法制备掺铂TiO_2薄膜的基本性质
《武汉大学学报(理学版)》2004年第1期51-54,共4页何永华 于国萍 魏正和 曾志锋 
国家自然科学基金资助项目(59871033)
用射频反应溅射法制备了掺铂的TiO2薄膜.用X射线衍射仪(XRD),紫外 可见(UV vis)光谱仪,电子扫描显微电镜(SEM)和X光电子能谱分析仪(XPS)对薄膜的基本性质进行了表征.研究结果表明:掺铂可以显著促进锐钛矿相的生长;TiO2薄膜在紫外的吸收...
关键词:射频溅射法 制备 掺铂 二氧化钛薄膜 富积 表面形貌 
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