程陶

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
发文主题：回转误差回转误差分析偏心圆度更多>>
发文领域：机械工程电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《光学精密工程》更多>>
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激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)被引量：1
《光学精密工程》2010年第2期317-325,共9页张山 谭久彬 王雷 程陶 
Supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.50675052)
为了进一步校正激光直写中的邻近效应,对误差校正迭代方法进行了完善。用虚拟的高分辨力声光调制器对直写图案进行校正,然后将曝光量数据转换圆整为低分辨力声光调制器对应的曝光量数据,消除了低分辨力声光调制器校正直写图案时出现的...
关键词：激光直写 邻近效应 误差校正迭代法 
基于圆度评定方法的气浮轴系回转误差分析被引量：5
《红外与激光工程》2009年第3期441-444,共4页王雷 谭久彬 黄景志 程陶 
大型气浮轴系相对于机械轴承具有较高的回转运动精度,主要应用于超精密测量和机械加工设备的回转主轴,以提供高精度的回转运动。大型气浮轴系回转运动精度高,但对回转误差的测量手段和方法较少,针对这一问题,采用基于圆度评定的方法对...
关键词：静压气浮轴系 圆度 偏心 回转误差 
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