罗云飞

作品数：1被引量：7H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：超分辨光刻掩模多层膜表面等离子体更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《科学通报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
表面等离子体超衍射光学光刻被引量：7
《科学通报》2016年第6期585-599,共15页王长涛 赵泽宇 高平 罗云飞 罗先刚 
国家重点基础研究发展计划(2013CBA01700);国家自然科学基金(61575204)资助
由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍。表面等离子体（surface plasmon,SP）是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能。近年来,通...
关键词：表面等离子体 光学光刻 超分辨 衍射极限 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部