高平

作品数：2被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：超分辨光刻承片台掩模版表面等离子体更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《光电子技术》《科学通报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统被引量：2
《光电子技术》2020年第4期277-283,共7页董晓璇 刘明刚 罗先刚 高平 
国家自然科学基金项目(61875202);国家重点研发计划(2019YFF0216400)。
为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ芯片为核心的信号处理系统。以ZYNQ芯片的片上ARM用作参数设定、驱动控制以及前端显示,以可编程逻辑资源...
关键词：间隙测量 白光干涉 ZYNQ芯片 互相关算法 
表面等离子体超衍射光学光刻被引量：7
《科学通报》2016年第6期585-599,共15页王长涛 赵泽宇 高平 罗云飞 罗先刚 
国家重点基础研究发展计划(2013CBA01700);国家自然科学基金(61575204)资助
由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍。表面等离子体（surface plasmon,SP）是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能。近年来,通...
关键词：表面等离子体 光学光刻 超分辨 衍射极限 
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