罗光明

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学研究生院更多>>
发文主题：半导体薄膜技术非晶硅光热偏转稳定性缺陷态更多>>
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用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性被引量：2
《电子学报》1996年第2期119-123,共5页朱美芳 罗光明 
国家自然科学基金;中国科大研究生院基金
通过光热偏转谱（ＰＤＳ）研究了衬底温度对用超高频辉光放电（ＶＨＦ－ＧＤ）制备的ａ－Ｓｉ：Ｈ光学特性的影响。考虑了电子在缺陷态的相关统计，数字拟合各样品在不同亚稳状态下ＰＤＳ次带吸收谱（０．８～１．７ｅＶ）．获得带尾态...
关键词：非晶硅缺陷 光热偏转 稳定性 半导体薄膜技术 
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