罗晓东

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文主题：磁控溅射TIO2薄膜NB光学带隙溅射制备更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：江苏省高校自然科学研究项目更多>>
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溅射制备Ge，Nb共掺杂窄光学带隙和低电阻率的TiO2薄膜被引量：2
《物理学报》2012年第20期391-397,共7页罗晓东 狄国庆 
江苏省高校自然科学重大基础研究项目(批准号:05KJA43006)资助的课题~~
采用射频磁控溅射技术制备了Ge,Nb共掺杂的锐钛矿结构TiO_2薄膜,详细探讨了薄膜的结构、电阻率及光学带隙等性质随Ge,Nb掺杂量、溅射功率和热处理温度等参数的变化,发现Ge,Nb共掺杂可以同时调节TiO_2薄膜的光学带隙和电阻率.体积分数约...
关键词：Ge.Nb—TiO2薄膜 电阻率 光学带隙 磁控溅射 
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