邓玲

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发文主题：SIO2SIO光谱研究喇曼散射射频溅射更多>>
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RF溅射的SiO_2和SiO_2/Al/SiO_2薄膜的喇曼散射光谱研究
《光散射学报》1991年第1期50-55,共6页徐知三 邓玲 周正国 王小华 
用射频溅射(RF Sputtering)法制成了SiO_2和SiO_2/Al/SiO_2薄膜。应用喇曼光谱研究了薄膜结构。结果表明:RF溅射制成的SiO_2薄膜是含有大量环结构缺陷的玻璃态;SiO_2/Al/SiO_2层状薄膜的喇曼光谱中观察到Al_2O_3的特征峰,证实了Al/SiO_...
关键词：射频溅射 SIO2 薄膜 散射谱 
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