顾晓渝

作品数：1被引量：9H指数：1
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高分辨率光学轮廓仪被引量：9
《仪器仪表学报》1995年第2期135-139,共5页高宏 李庆祥 薛实福 顾晓渝 
本文提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪，应用Ｎｏｍａ－ｒｓｋｉ微分干涉显微成象原理和相移干涉技术，实现了对表面微观轮廓的高精度绝对测量。仪器不需要标准参考反射镜和机械扫描机构，并且对机械振动等外...
关键词：高分辨率 光学轮廓仪 测量 
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