周亮

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：复旦大学现代物理研究所/核科学与技术系更多>>
发文主题：分子动力学计算机模拟类金刚石膜类金刚石薄膜离子束辅助沉积更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟被引量：5
《物理学报》2005年第5期2233-2238,共6页李之杰 潘正瑛 朱靖 魏启 王月霞 臧亮坤 周亮 刘提将 
国家自然科学基金 (批准号 :10 2 75 0 12 )资助的课题 .~~
采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表...
关键词：类金刚石薄膜 离子束辅助沉积 分子动力学 计算机模拟 
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