云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 庄志伟

庄志伟: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：清华大学更多>>; 发文主题：压阻悬臂梁检测器件绝热性能位置敏感探测器更多>>; 发文领域：自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2006年第10期1844-1850,共7页庄志伟王喆垚刘理天; 国家自然科学基金(批准号:60401009);清华大学基础研究基金(批准号:JC2003061)资助项目~~; 研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8...; 关键词：MEMS 压阻 SOI 表面应力测量悬臂梁传感器