张慧敏

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：二元光学元件自适应控制主轴速度控制更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光电工程》更多>>
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二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法被引量：2
《光电工程》2001年第2期4-6,18,共4页熊木地 张慧敏 肖文礼 邢忠宝 
中国科学院重大设备改造项目
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判...
关键词：二元光学元件 激光直写设备 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制 
二元光学激光直写设备软件的再用技术
《光学精密工程》2000年第6期544-556,共13页熊木地 张慧敏 
中国科学院重大设备改造项目
介绍了激光直写设备 (LDWD)的软件系统的组成要求与特点。由于该设备的软件系统庞大而且复杂 ,由于开发周期长 ,开发人员多 ,使得此软件系统的开发与维护变得异常困难。本文提出采用软件组合技术 ,软件生成技术以及面向对象的程序设计技...
关键词：软件组合 可再用软件 二元光学激光直写设备 
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